Мембранный клапан CMP HPRAY CYMS1
Арт. CYMS1
Нужен подбор оборудования, инжиниринговое решение или расчет проекта под ваши технологические задачи?
Клапаны серии CYMS1 разработаны специально для управления потоками CMP-суспензий, используемых в процессах химико-механической полировки кремниевых пластин. Мембранная конструкция обеспечивает высокую устойчивость к абразивным частицам и агрессивным химическим средам.
Клапаны применяются в установках CMP и системах подачи химических реагентов на предприятиях микроэлектронной промышленности.
Преимущества
оптимизирован для CMP-процессов
устойчивость к абразивным суспензиям
высокая герметичность
высокая химическая стойкость
длительный срок службы
Применение
CMP-установки
производство микросхем
системы подачи химических суспензий
Клапаны применяются в установках CMP и системах подачи химических реагентов на предприятиях микроэлектронной промышленности.
Преимущества
оптимизирован для CMP-процессов
устойчивость к абразивным суспензиям
высокая герметичность
высокая химическая стойкость
длительный срок службы
Применение
CMP-установки
производство микросхем
системы подачи химических суспензий
| Параметр | Значение |
| Тип клапана | мембранный |
| Тип управления | ручное |
| Материал корпуса | PFA |
| Материал мембраны | PTFE |
| Диапазон размеров | 1/4" – 1" |
| Тип соединения | flare / компрессионное |
| Рабочее давление | до 0.6 МПа |
| Температура среды | до 120 °C |
| Рабочие среды | CMP slurry |
| Стойкость к абразиву | высокая |
| Герметичность | высокая |